1、紫外吸收池：紫外吸收池應以不與臭氧起化學反應的惰性材料制成，并具有良好的機械穩定性。吸收池的臭氧損失不能大于5%。光路長度為已知值的99.5%。

　　2、紫外燈：所產生的紫外光被檢測器接受的254nm的輻射至少占99。5%。

　　3、光度檢測器：紫外臭氧分析儀光度檢測器能滿足在254nm波長下測量的靈敏度要求。濃度測量標準偏差不超過0.001mg/m3(0℃,101.3kpa)或濃度的2%。

　　4、臭氧滌除器：空氣樣品經過臭氧滌除器除支臭氧和干擾氣體以后，進入吸收池，并由光度檢測器測出I0臭氧滌除器的平均壽命由生產廠家給出。然而實際壽命由采樣環境而定。當臭氧滌除器對環境中的臭氧反應明顯降低(線性檢驗精度>1%)時，則應更換臭氧滌除器。

　　5、采樣泵：紫外臭氧分析儀采樣泵安裝在氣路的末端，抽吸空氣流過臭氧分析儀，并能在儀器所需的流量和壓力條件下運轉。

　　6、流量控制器：控制流過臭氧分析儀的空氣流量恒定在選定流量值的誤差±2%范圍以內。